近些年,運用低溫技術(shù)來(lái)獲得真空泵發(fā)展趨勢迅速。超低溫冷凝泵與磁控濺射離子泵、鈦提升泵等其它表層吸附泵不一樣，其運行原理通常是物理特性的吸咐作用和超低溫中的汽體冷疑作用。當一個(gè)中性氣體分子結構打到一個(gè)超低溫表面時(shí)，將喪失它非常絕大部分的機械能所以被表層的色散力(分子結構彼此很近時(shí)，因為外層電子路軌遭受影響而引起的一種與分子結構極化能力相關(guān)的影響力)所縛。它一切汽體都能在超低溫或很低的條件下被冷疑清 除而獲得很低的氣體壓強。

　　超低溫冷凝泵具備真空值高，抽速大，對大部分汽體無(wú)可選擇性，樣子隨意，相對高度清理，工作中氣體壓強覆蓋面廣，高流量和低流量都能夠勝任等特點(diǎn);但價(jià)格昂貴，保持費用較高，機器設備繁雜，使它運用受限制。經(jīng)過(guò)長(cháng)期勤奮，現階段有一些冷凝泵的成本早已下降至能與渦輪分子泵和各類(lèi)磁控濺射離子泵一樣的水準。一般來(lái)說(shuō)超低溫冷凝泵可以分為兩類(lèi)：

　　一種是具備非常大吸咐面積超低溫吸附泵，一般是多孔結構的吸收劑(如碳分子篩，氧化鋁微粉，硅橡膠，活性炭等)松散沉積或卡緊固定于金屬材料攜帶。汽體在吸收劑表層的物理吸附控溫線(xiàn)確定它和空間創(chuàng )建平衡氣體壓強。因其吸咐作用關(guān)鍵僅 限于單分子層，因此吸附量與面積正相關(guān)，其實(shí)就是與吸收劑的總數正相關(guān)。這類(lèi)超低溫吸附泵做為粗抽泵，堅守在液N2條件下。如作為超高真空泵，大多數堅守在15—2lK范疇。但是由于吸收劑的導熱系數低，熱傳遞吸收能力高，它極限值氣體壓強、抽速和排量得到了限定。當超出某一臨界值氣旋值，泵會(huì )越來(lái)越不穩，乃至不可以運用，并且消除冷疑吸咐氣體很有可能非常艱難。