冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。冷凝泵是一種低極限壓力、高抽速的真空泵,以獲得潔凈的真空。廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀、離子注入機和空間模擬器。由于其清潔無(wú)污染、高效率、高抽速、高可靠性等突出優(yōu)點(diǎn),廣泛應用于科研實(shí)驗室乃至工業(yè)生產(chǎn)等諸多領(lǐng)域,如半導體材料制造、平板顯示生產(chǎn)/測試設備、太陽(yáng)能制造、真空鍍膜、熱真空系統等。
冷凝泵運行時(shí)振動(dòng)過(guò)大、噪音大的原因:
1.發(fā)生氣穴現象??栈^(guò)程中會(huì )產(chǎn)生氣泡和氣泡破裂,從而引起振動(dòng)和噪聲。如果振動(dòng)是由泵汽蝕引起的,則需要考慮改變安裝高度或增加系統壓力。此外,選擇合適類(lèi)型的泵非常重要。
2.冷凝泵轉子平衡降低。當轉子不平衡時(shí),轉子中心與旋轉的新偏差過(guò)大,轉子旋轉時(shí)會(huì )產(chǎn)生不平衡力,特別是轉速高時(shí),振動(dòng)會(huì )更明顯。一方面可能是制造或裝配,轉子平衡不符合設計要求;另一方面,可能是泵運行一定時(shí)間后,由于某些原因,如軸受力變形、零件偏心磨損過(guò)大等,導致轉子的平衡精度下降。在這兩種情況下,都需要重新平衡轉子。
3.冷凝泵在非設計工況區運行。盡量使泵在額定流量揚程附近運行,盡量避免低流量高流量運行,否則水力沖擊增大會(huì )引起振動(dòng)。當水流從葉輪葉片的外端經(jīng)過(guò)導葉或冷凝泵的舌部時(shí),會(huì )產(chǎn)生水力沖擊,雖然沖擊的程度隨著(zhù)泵的轉速和尺寸的增大而增大,但當這種水力脈沖船舶管路系統為基礎時(shí),會(huì )產(chǎn)生噪聲和振動(dòng)。如果這種水中脈沖的頻率接近泵軸、管道系統或基礎的固有頻率,就會(huì )產(chǎn)生更嚴重的共振。
4.軸承損壞或不匹配。如果軸承損壞,除了本身的運行噪聲外,還會(huì )使轉子的運動(dòng)失去穩定性,從而使泵機組的振動(dòng)和噪聲增大。此外,軸承的徑向間隙過(guò)大也會(huì )產(chǎn)生噪音。更換冷凝泵軸承可以解決問(wèn)題。
5.安裝問(wèn)題。比如冷凝泵與底座、底座與基礎之間有松動(dòng),電機與泵的聯(lián)軸器同軸度低,就可能產(chǎn)生振動(dòng)和噪音,需要重新擰緊連接螺栓或重新校準。
以上就是關(guān)于冷凝泵的一些知識點(diǎn),希望大家可以認真學(xué)習了解相關(guān)知識。