冷凝泵無(wú)油，對所有氣體的提取速度都很大。特別是水蒸氣、H2等萃取速度大，適應性強，冰箱低速工作，移動(dòng)部件很少，有利于長(cháng)期可靠的運行。因此，冷凝泵廣泛適用于IC生產(chǎn)過(guò)程的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延及其他高能粒子加速器。

　　冷凝泵結構說(shuō)明是什么？

　　品種

　　N型冷凝泵分為水平懸臂端，2級離心泵，共8個(gè)品種。單個(gè)級別為3N6、4N6、100N130。第二級為2.5N3X2、3N6X2和4N6X2。單級誘導輪有6N6，150N110

　　凝結泵支撐部分

　　支撐部分的主要部件是支架、前后鈾壓力蓋及鈾組合位于支架的前后徑向滾珠鈾軸承上，滾動(dòng)滾珠鈾軸承也能承受不平衡的鈾方向力。用稀油潤滑的話(huà)，油量可以在油表上看到。前后鈾壓力蓋均配有氈密封，用鈾封條防止漏油。管子堵塞處的洞是用來(lái)加油的。換油時(shí)，請從鋼絲孔中排出油。

　　密封和傳動(dòng)

　　泵用柔軟的填料密封，鈾棒上有可更換的鈾蓋。泵通過(guò)彈性鈾機由電動(dòng)機驅動(dòng)，從傳動(dòng)方向看，泵逆時(shí)針旋轉。

　　冷凝泵工作部分

　　第一段：主要由硅黃銅80-3鑄造的葉輪通過(guò)鑰匙固定45號優(yōu)碳制成的軸，葉輪安裝在由耐磨鑄鐵HT20-40制成的泵體、泵蓋組成的泵工作室中。動(dòng)力器通過(guò)車(chē)軸驅動(dòng)軸承支撐的軸和葉輪，泵工作。用耐磨鑄鐵HT20-40制作的套筒、耐磨鑄鐵HT20-40制作的套筒泵后的包裝函中含有充電環(huán)，將油浸在石墨石棉繩上，打開(kāi)蓋子，加長(cháng)兩個(gè)螺栓，可收緊填料，調節松脫，外部引入高于大氣壓的密封水。通過(guò)交接對準充電環(huán)，在整個(gè)充電器內隔絕空氣，侵犯泵內密封條，防止泵內水泄漏，只排出少量潤滑水滴。在葉輪上打開(kāi)平衡孔，消除軸向推力，使高壓區域能與進(jìn)口低壓區溝通，為防止泵體和泵蓋磨損，做好維修工作，泵體、泵蓋設有密封環(huán)，泵體上有絲孔，用于防雨，停車(chē)檢修時(shí)，泵內的水從絲孔中逸出，為方便泵體和泵蓋的拆卸，準備了蓋子。

　　二級：其余與一級一樣，只有泵蓋、泵和中間導葉組成兩個(gè)工作室，兩個(gè)室內配有硅黃銅80-3制作的一級葉輪和鑄鐵HT20-40CuMo制作的葉輪。短帶誘導輪：其余與短級相同，只有葉輪材料為鋁青銅9-4，在葉輪前添加鋁青銅9-4制成的誘導輪，提高氣蝕性能。