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一種效率高、節能的單級冷凝泵

發(fā)布時(shí)間:2021-07-12 點(diǎn)擊量:172

冷凝泵是利用低溫表面凝結氣體的真空泵,具有較低的壓力和較高的泵送速率,以獲得清潔的真空。它廣泛應用于集成電路和半導體的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空表面分析儀器、真空鍍膜設備、離子注入機和空間模擬裝置。廣泛應用于科研實(shí)驗室,甚至工業(yè)生產(chǎn)等諸多領(lǐng)域。單級冷凝泵在工作過(guò)程中,泵體與接頭連接不夠緊密,電機會(huì )振動(dòng),容易造成浪費和節能,冷凝效果也不夠好,不能滿(mǎn)足人們的要求。

為解決現有技術(shù)的不足,研發(fā)人員提供一種效率高、節能的單級冷凝泵。為了達到上述目的,該冷凝泵采用如下技術(shù)方案:一種節能、效率高單級冷凝泵,包括底板,底板的頂部外壁上設有等距分布的緩沖裝置,緩沖裝置包括下連接塊,下連接塊頂部焊接有等距分布的彈簧,彈簧頂部焊接有上連接塊。傳動(dòng)桿焊接在電機輸出軸的一側外壁上,固定架通過(guò)螺栓固定在底板的頂部外壁上,泵體通過(guò)螺栓固定在固定架的頂部,連接環(huán)焊接在泵體的一側外壁上,橡膠墊粘接在連接環(huán)的一側外壁上,聯(lián)軸器通過(guò)螺栓固定在傳動(dòng)桿一側的外壁上,傳動(dòng)桿通過(guò)聯(lián)軸器與中心軸連接;殼體內壁焊接有等距分布的柵片;在上連接塊和下連接塊一側的外壁上粘接纖維板。固定座通過(guò)螺栓固定在底板的頂部外壁上,固定座一側的外壁上設有固定孔,固定孔的內壁上焊接有二軸承,二軸承的內壁上焊接有傳動(dòng)桿。進(jìn)料管通過(guò)螺栓固定在泵體頂部的外壁上,過(guò)濾網(wǎng)板通過(guò)螺栓固定在進(jìn)料管一側的內壁上。殼體頂部外壁焊接有冷卻液管,殼體一側外壁焊接有出料管。等距分布的從動(dòng)葉片、二葉輪和一葉輪通過(guò)螺栓固定在中心軸一側的外壁上,二葉輪和一葉輪位于泵體內,從動(dòng)葉片位于殼體內。等間距分布的鋼筋用螺栓固定在殼體的內壁上,遠離殼體的一端焊接有一軸承,中心軸的內壁焊接有一軸承的內壁。殼體一側的外壁上設有密封裝置,密封裝置包括密封機蓋和壓蓋,密封機蓋一側的外壁上設有環(huán)形凹槽。

上述冷凝泵具有以下有益效果:、電機工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)可以通過(guò)彈簧和纖維板的設置來(lái)緩沖,傳動(dòng)桿可以通過(guò)固定座和二軸承的設置來(lái)加強,從而提高了裝置的穩定性。2、通過(guò)一葉輪和二葉輪的設置,可以在電機的旋轉下快速旋轉,而擋板葉片的設置可以配合從動(dòng)葉片的旋轉,快速攪拌和冷凝液體,從而提高了裝置的工作效率。3、凹槽和凸起的設置可以增加壓蓋與密封機蓋的接觸面積,提高密封性能。連接環(huán)、橡膠墊和密封板的設置可以提高泵體與殼體連接時(shí)的密封性能,提高裝置的密封性能,節能效果好。



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